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晶振片
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  • MAXTEK晶振片 膜厚仪晶控片 6MHz感应片 INFICON英福康 镀膜材料
  • 品牌:MAXTEK
  • 型号:6MHZ,5MHZ
  • 规格:

产品详情

 如何选用最合适的晶振片?

镀膜科技日新月异,对于镀膜工程师来说,如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考:

1)镀低应力膜料时,选择镀金晶振片

最常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu,这些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜层较软,易划伤,但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经验证明,可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层

Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力,膜层容易从晶体基片上剥落或裂开,以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时,这些情况可以容忍,但在一些情况下,会对蒸发源的功率控制有不良作用。

3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜

MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性,被广泛用于光学镀膜,但这些膜料也是最难监控的,只有基底温度大于200度时,这些膜层才会与基底有非常良好的结合力,所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上,在膜层凝结过程会产生巨大的应力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。

这时候,选用合金晶振片将是最好的选择,将大大减少调频机会。实验室显示,使用合金晶振片监视氟化镁,有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50度,晶振片的寿命更可以再延长一倍。

七﹑晶振片的安装及注意事项与技巧

随着镀膜规格指标的需求日益严格,单靠光控已经难以达到要求,晶振控制成为镀膜必备的辅助或控制方法﹐如何正确有效地使用晶振片成为保证镀膜质量的重点。所以为了使晶振片寿命最长,下面一些方法和技巧供您参考:

1.总是用摄子来挟住晶振片的边缘,不要碰晶振片中心。
因为晶振片振动的活跃中心,任何灰层,油污都会降低晶振片的振动能力。新的晶振片使用之前应在酒精(分析纯即可)中浸泡1分钟左右,之后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将酒精擦拭干净,同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净,组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残留的灰尘、纸屑等吹掉﹐晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面,去除散落的灰尘。(有人建议用低压过滤的氮气或不含油的空气吹晶振片的表面,去除散落的灰尘﹐本人认为吹气球即可﹐方便经济又快捷。)切记不要用手指直接接触晶振片以免留下油渍。

2.保持晶振片的清洁。不要让镀膜材料的粉末接触晶振片的前后中心位置。任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触,而且会产生应力点,从而改变晶体振动的模式。

3.晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜,如果不将其除去,由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去,之后用酒精浸泡5分钟左右,如果能用超声波振荡清洗一下,效果会更好,最后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟,即可使用。

4.保持足够的冷却水使晶振头温度在20-50度。 如果可以将温度误差保持在1-2度范围内,效果更佳。

*阻抗,以保证测量的稳定性和更长涂层寿命。阻抗指标的粘附和电极的电接触。 *频率,启始频率测在一个小规格范围内的验证,以确保精确的厚度测量。*曲率是进行一种电子测试,以确保共振稳定。使稳定性差的曲率测量结果迅速下降。 *可视化整合,为确保最大的晶体寿命和稳定性,为每个晶体的电极一致性检查,表面缺陷,以及其它瑕疵,电极附着和污染。


频率:6MHz、5MHz           尺寸:0.49”,0.55”      

电极材料:镀金、   镀银或合金

 

2、频率确保起始频率在较小范围内,有助于确保您准确的厚度测量。
3、曲率曲率的测试,是为了保证共振的稳定性,差劲的曲率将降低晶控片(晶振片)测量过程的稳定性。
4、外观检测每个晶体的电极均匀性、表面缺陷、以及其他的外观缺陷都得到检查,从而排除了较差的电极粘连性和可能的污染。