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目前,我国制作真空集热管普遍采用的仍然是多层铝-氮/铝太阳选择性吸收涂层制造技术。这一技术是清华大学殷志强教授和他的同事们于1984年发明,1985年申报国家专利,1987年获得批准的(专利号:ZL851001424)。
这一技术的基本原理是在镀膜机内,设置单圆柱铝靶的磁控溅射系统。镀膜机内一次装载数十只作为集热管内管的玻璃管,在“行星”机构传动下,玻璃管做公转与自转。立式圆柱铝靶在中心位置,在氩气中非反应溅射沉积铝底层,再注入流量可控的氮气,制备多层铝—氮复合薄膜材料作为吸收层。
这一被称为渐变铝-氮、铝太阳选择性吸收涂层的制造技术,其太阳吸收比可达0。93,发射比约0。05(80℃)。这是世界上第一次只采用一种金属材料,既制备金属底层又制备复合薄膜材料的选择性吸收涂层。清华阳光公司利用此项技术生产的晒乐牌紫金系列真空集热管,经国家轻工业玻璃产品质量监督检测中心检测,其太阳吸收比α=0。95(AM1。5);半球发射比εh= 0。050(80℃±5℃)。